半導體車間廢氣怎么處理？

2025-10-21(176)次瀏覽

半導體車間廢氣治理方案：精密工藝與高效凈化技術(shù)

一、半導體行業(yè)廢氣特性分析

半導體制造工藝復雜且精密，生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣成分特殊、危害性大，處理要求極高。半導體車間廢氣主要特點包括：

1.廢氣主要來源工序：

光刻工序：光刻膠涂布、顯影、烘烤過程
蝕刻工序：干法蝕刻和濕法蝕刻工藝
化學氣相沉積：薄膜沉積過程
離子植入：摻雜工藝
化學機械拋光：晶圓表面平坦化
擴散工藝：高溫熱擴散過程

2.廢氣成分特性：

高毒性氣體：砷烷、磷烷、硅烷等摻雜氣體，毒性極強
腐蝕性氣體：氯化氫、氟化氫、氯氣等蝕刻廢氣
有機廢氣：異丙醇、丙酮、光阻劑等VOCs
酸性氣體：硫酸、硝酸、磷酸等清洗廢氣
溫室氣體：三氟化氮、六氟化鎢、四氟化碳等CVD廢氣

3.處理技術(shù)難點：

氣體種類繁多，成分復雜
部分氣體濃度低但毒性極強
需要極高的處理效率和穩(wěn)定性
防爆要求嚴格，安全標準高

二、半導體專用廢氣處理技術(shù)

1. 高毒性氣體處理技術(shù)

（1）專用燃燒分解系統(tǒng)

針對砷烷、磷烷等自燃性毒性氣體
高溫燃燒分解，徹底消除安全隱患
尾氣二次處理，確保達標排放

（2）化學吸附過濾技術(shù)

配置專用吸附劑，針對性去除特定毒性氣體
模塊化設計，更換維護方便
多重安全保障，防止泄漏風險

2. 酸性/腐蝕性廢氣處理技術(shù)

（1）濕式洗滌系統(tǒng)

填料塔洗滌：采用PTFE等高級防腐材質(zhì)的填料塔
噴淋塔凈化：配置高效噴嘴，增大氣液接觸面積
多級串聯(lián)工藝：根據(jù)廢氣特性設計多塔串聯(lián)，實現(xiàn)分級凈化

技術(shù)優(yōu)勢：

處理效率高達99%以上
抗強腐蝕設計，設備壽命長
智能化控制系統(tǒng)，自動調(diào)節(jié)pH值

3. 有機廢氣處理技術(shù)

（1）沸石轉(zhuǎn)輪濃縮+RTO系統(tǒng)

特別適用于半導體工廠大風量、低濃度有機廢氣
沸石轉(zhuǎn)輪將廢氣濃縮10-20倍，大幅降低能耗
RTO裝置確保凈化效率穩(wěn)定在99%以上

（2）活性炭吸附+催化燃燒

專用蜂窩狀活性炭吸附，阻力小，更換方便
低溫催化燃燒，運行成本經(jīng)濟
全自動控制，實現(xiàn)無人化操作

三、半導體廢氣處理系統(tǒng)特色

1.精密控制與智能監(jiān)控

在線監(jiān)測系統(tǒng)：實時監(jiān)測廢氣濃度、溫度、壓力、流量等參數(shù)
智能控制系統(tǒng)：根據(jù)工藝變化自動調(diào)節(jié)運行參數(shù)
遠程監(jiān)控功能：支持DCS系統(tǒng)集成和手機APP遠程監(jiān)控
數(shù)據(jù)記錄分析：完整記錄運行數(shù)據(jù)，滿足ISO14001要求

2.安全可靠設計

防爆設計：針對半導體特殊氣體特性，采用最高等級防爆配置
應急處理系統(tǒng)：設置應急噴淋、緊急排放、阻火器等安全裝置
多重保護：過溫保護、過載保護、壓力保護、濃度報警等多重安全措施
合規(guī)性設計：嚴格按照半導體行業(yè)安全規(guī)范設計制造

3.節(jié)能環(huán)保特性

熱能回收：RTO系統(tǒng)熱回收效率達95%以上
資源循環(huán)：洗滌水循環(huán)使用，化學藥劑自動回收
低能耗運行：高效風機和變頻控制，顯著降低能耗
綠色材料：使用環(huán)保材料，全生命周期可追溯

四、成功應用案例

1.國內(nèi)領先的12英寸晶圓制造企業(yè)

處理風量：320,000 m³/h
廢氣類型：毒性氣體、酸性廢氣、有機廢氣
采用技術(shù)：專用燃燒分解+高級濕式洗滌+沸石轉(zhuǎn)輪+RTO
處理效果：各項指標優(yōu)于最嚴格的排放標準

2.知名半導體材料生產(chǎn)基地

處理風量：180,000 m³/h
主要廢氣：特殊氣體、VOCs、酸性氣體
解決方案：本地廢氣處理+中央洗滌塔+沸石濃縮轉(zhuǎn)輪
運行效果：凈化效率穩(wěn)定在99%以上，運行可靠

五、結(jié)語

半導體行業(yè)廢氣治理關系到生產(chǎn)安全、環(huán)境保護和產(chǎn)業(yè)可持續(xù)發(fā)展。我們憑借深厚的技術(shù)積累和豐富的項目經(jīng)驗，為半導體制造企業(yè)提供安全、可靠、高效的廢氣治理整體解決方案，助力半導體產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)綠色制造，為中國半導體行業(yè)發(fā)展保駕護航。歡迎半導體行業(yè)客戶聯(lián)系我們的專業(yè)技術(shù)團隊，獲取詳細的技術(shù)方案和項目咨詢。讓我們攜手打造安全、潔凈的半導體生產(chǎn)環(huán)境，共同推動行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。

<涂裝車間VOCs廢氣怎么處理？已經(jīng)沒有了> 返回

最新資訊

半導體車間廢氣怎么處理？

半導體制造工藝復雜且精密，生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣成分特殊、危害性大，處理要求極高。根據(jù)具體的工況可采用沸石轉(zhuǎn)輪+RTO、噴淋塔+活性炭、催化燃燒等方法對半導體車間廢氣進行處理。
涂裝車間VOCs廢氣怎么處理？

萬川環(huán)保涂裝車間VOCs廢氣治理：全面解決方案與創(chuàng)新技術(shù)行業(yè)廢氣特性分析在工業(yè)涂裝車間，廢氣污染主要來源于噴漆、揮發(fā)和烘干三大工序。根據(jù)具體工況可采用沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮技術(shù)、蓄熱式熱力燃燒技術(shù)、催化燃燒、活性炭吸附等處理方法
沸石轉(zhuǎn)輪和活性炭那個吸附VOCs更好？好在哪里？

VOCs治理即揮發(fā)性有機物治理，對于空間環(huán)境的安全、人體健康安全有著深遠意義，尤其對于環(huán)境污染較嚴重的地區(qū)，揮發(fā)性有機物治理勢在必行。隨著我國對于兩型社會建設的逐漸加快，對諸多地理空間的環(huán)境指標要求提升，對于各企業(yè)污染物排放嚴格限制；傳統(tǒng)的活性炭吸附回收已遠遠不能滿足治理要求，沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮應運而生，那么它比活性炭VOCs治理好在哪里呢？
橡膠制品廢氣怎么處理？

橡膠生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣主要包括揮發(fā)性有機化合物（VOCs）、苯、甲苯、二甲苯、氮氧化物（NOx）等。這些廢氣的來源包括原材料處理、橡膠加工、加熱、烘干和蒸汽發(fā)生器。 1.空氣污染橡膠廢氣中含有大量的有害物質(zhì)，如果未經(jīng)處理直接排放到大氣中，會造成嚴重的空氣污染。 2.健康問題橡膠廢氣中含有苯、甲苯、二甲苯等有毒物質(zhì)，長期暴露在這些物質(zhì)中會引起呼吸系統(tǒng)疾病、免疫系統(tǒng)疾病和癌癥等健康問題。 3.其他環(huán)境問題橡膠廢氣排放會對土壤和水體造成污染，影響生態(tài)環(huán)境
鋰電池車間廢氣怎么處理？

鋰電池車間廢氣怎么處理？隨著人們生活水平的提高，對能源的需求也越來越大。鋰電池作為新能源中的一種，其應用范圍也越來越廣泛，不僅用于移動通訊、電動車、儲能設備等領域，還被應用于航空、航天等高科技領域。但隨之而來的是鋰電廠的廢氣排放問題，廢氣中的有害物質(zhì)會對環(huán)境和人體健康造成危害。因此，對鋰電廠廢氣的處理技術(shù)十分重要。鋰電池的生產(chǎn)過程廢氣主要來源：1、極板工程——攪拌制漿涂布烘烤、輥壓分切...
環(huán)保廢氣處理科普——鞋廠廢氣處理方案

制鞋行業(yè)是一個龐大的產(chǎn)業(yè)，但同時也是一個對環(huán)境造成較大影響的行業(yè)。制鞋過程中產(chǎn)生的廢氣不僅對員工的健康構(gòu)成威脅，還對周圍環(huán)境造成污染。因此，制鞋廢氣處理方案的研究和實施顯得尤為重要。本文將詳細介紹制鞋廢氣處理方案的相關內(nèi)容，包括廢氣來源、處理技術(shù)和實施建議。
什么是旋風除塵器？旋風除塵器是怎樣工作的？

萬川環(huán)保小編將向您介紹旋風除塵的結(jié)構(gòu)組合和工作原理，希望能讓您對旋風除塵器有更深入的認識。
電子廠酸堿廢氣該怎么處理？

電子廠在酸洗過程中會產(chǎn)生酸堿類廢氣，主要成分為硝酸霧、氯化氫、硫酸霧、氰化物、鉻酸霧、堿霧等，酸性氣體腐蝕性強，毒性大，不處理會危害員工和附近居民身體健康，腐蝕廠房設備與精密儀器，還會污染環(huán)境收到罰款甚至停業(yè)，造成不可估量的損失。
高氨氮廢水處理成功案例

隨著化肥、石油化工等行業(yè)的迅速發(fā)展壯大，高氨氮廢水也成為行業(yè)處理難題之一。今天，我們來了解一下福建某化工廠含氨廢水處理案例。　　福建某化工股份有限公司化工總廠含氨污水總排放量為173m3/h,甲醇殘液排放量為2m3/h,另有甲醇油廢液400kg/d(內(nèi)含二甲醚、烷類等有機物20%)。　　對于一些含氨氮高于200mg/L，水量小的部分廢水先在車間進行預處理，以回收其中部分的氨，然后再與綜合污水一同按下圖的工藝處理。　　其他廢水&mda...
東莞德雅塑料制品有限公司建設項目竣工環(huán)境保護驗收報告

　東莞市德雅塑料制品有限公司建設項目竣工環(huán)境保護驗收報告　　根據(jù)《建設項目竣工環(huán)境環(huán)保驗收暫行辦法》第十一條，現(xiàn)對我公司《東莞市德雅塑料制品有限公司建設項目竣工環(huán)境保護驗收報告》予以公示。公示時間2018年5月21日至2018年6月21日。　　如有問題，請向我公司反映。　　建設單位聯(lián)系人嚴志安　　聯(lián)系電話 13929409161　　東莞市德雅塑料制品有限公司　　2018年5月21日